產(chǎn)品[
半導(dǎo)體特氣檢漏儀（自動吸引式）XP-703D
]資料
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產(chǎn)品名稱:
半導(dǎo)體特氣檢漏儀（自動吸引式）XP-703D
產(chǎn)品型號:
XP-703D
產(chǎn)品廠商:
日本新宇宙
產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹
半導(dǎo)體特氣檢漏儀（自動吸引式）XP-703D
特點：
*適合于檢測半導(dǎo)體特氣的微量泄漏。
采用聲光報警。
半導(dǎo)體特氣檢漏儀（自動吸引式）XP-703D的詳細介紹
半導(dǎo)體特氣檢漏儀（自動吸引式）XP-703D
| 型 號 |
XP-703D
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檢測對象氣體
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半導(dǎo)體材料氣體（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等）
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檢測原理
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專線型半導(dǎo)體式
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采樣方式
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自動吸引式
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可檢測濃度
（單位：ppm）
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砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
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檢測表示
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蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍
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應(yīng)答速度
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10秒以內(nèi)
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